中电科200mm抛光设备已承认进入中芯世界等国内大线

　　离子注入机是集成电路制作前道工序中的关键设备，难度仅次于光刻机。它经过对半导体外表邻近区域进行掺杂，引起资料外表成分、结构和功用发生变化。

　　电科装备战略方案部主任李进泄漏，现在电科装备已完成离子注入机全谱系产品国产化，可为芯片制作公司能够供给离子注入机一站式解决方案。据北京亦庄音讯，我国电子科技集团还发布了国产化化学机械抛光设备，作为集成电路制作中心装备之一，化学机械抛光设备是铜互联工艺不可或缺的设备。

　　其间，200mm抛光设备已承认进入到中芯世界、华虹宏力、台积电、联电等国内大线，被中芯世界称为“仅有置换率100%的国产设备供货商”。

　　此外，据中新网报导，李进介绍，电科装备8英寸化学机械抛光设备市占率达70%，12英寸CMP进入客户验证，功用体现优异。电科装备湿法设备已进入到8英寸集成电路外延片加工和芯片制作范畴。

　　关键字：中电科修改：北极风 引证地址：中电科200mm抛光设备已承认进入中芯世界等国内大线上一篇：美手机芯片商Cirrus Logic 宣告赞同收买 Lion Semiconductor

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