超声波雾化喷涂机用于聚酰亚胺和光刻胶涂层

　　超声波喷涂体系已被证明适用于需求均匀、可重复的光刻胶或聚酰亚胺薄膜涂层的各种运用。通过操控从亚微米到 100 微米以上的厚度并可以涂覆任何形状或尺度，涂层体系是旋转和传统喷涂等其他涂层技能的可行代替计划。

　　聚酰亚胺和光刻胶涂层的常见运用包含但不限于MEMS、镜头、微流体设备、微电子和过滤器。涂层体系可以在平面和 3D 基板上进行涂层，一般包含硅晶片、玻璃、陶瓷和金属。

　　超声波喷涂是一种简略、经济且可重复的光刻胶和聚酰亚胺涂层工艺。超声波镀膜体系能运用简略的分层技能准确操控流速、镀膜速度和堆积量。低速喷雾成型将雾化喷雾界说为准确、可控的图画，防止过度喷涂，一起发生十分薄、均匀的层。

　　超声波喷涂体系运用高频声响振荡发生由数学界说的液滴组成的柔软雾气。消除了阻塞，因没有运用压力来发生喷雾，而且液滴有很窄的液滴散布尺度，进一步有助于堆积层的均匀性。