【我国IC风云榜年度最具生长潜力奖55】芯米半导体：抢先的半导体制程配备与工艺处理制作商

　　芯米（厦门）半导体设备有限公司建立于2019年1月，总部坐落厦门火炬高新（翔安）工业区，是一家领军型“双百人才落地企业”。芯米半导体以我国台湾技能合资，深耕半导体设备技能三十余年，首要从事半导体专用设备的研制、出产和出售，产品包括光刻制程中涂布、显影、清洗（ Coater&Developer &Clean）设备及其配套，以及半导体光刻制程技能服务及全体工艺处理方案。

　　芯米半导体创始人尹安和先生及其团队与东京电子的协作超越25年，可以独立规划制作国外同等级设备。公司产品的中心部件克己，不受限制，具有快速、弹性的客制化才能。公司长时刻与世界大厂技能协作，具有丰厚的制程工艺经历。

　　在芯片制作过程中，光刻工艺无疑是其中最中心的环节。而光刻工序中除了光刻机外，涂胶与显影设备相同发挥着关键作用。不过，在我国大陆的涂布显影机商场中，东京电子（TEL）处于肯定独占位置，导致国产化率缺乏5%。

　　芯米半导体建立尽管只要两年的时刻，但旗下团队成员多来自于TEL，丰厚的职业经历和与业界晶圆厂、封测厂的长时刻协作关系让该公司具有抢先的制程工艺，以及对中心技能的把控才能。

　　据芯米联合创始人李华芳泄漏，芯米2020年的订单总金额达4000余万元，已交给订单完结营收约3000万。

　　李华芳表明，2020年至今，芯米旗下6、8英寸机台的一切中心模组都已完结验证，一起8英寸机台整机根本完结90%的进展，现已进入测验阶段。该公司已具有8英寸机台量产的才能，估计在本年3月份可以交给两套涂布显影设备，一套是新加坡Advanced Micro Foundry（AMF）公司的订单，一套是泉州(FATRI UTC)的。

　　到下一年三四月份，假如客户的验证数据经过，芯米的6、8英寸机台整机将可以预备量产条件，对商场揭露出售。

　　值得一提的是，芯米也是助推半导体国产化的一股中坚力气。到现在，芯米不论是国内的加工才能，仍是资料方面均能到达一台机台所需的等级。李华芳称，芯米机台机件的非国产化率已缺乏20%，未来有望逐渐完结百分之百本土化。

　　与此一起，针对晶圆厂快速开展，而设备货源严重的现况，李华芳以为，就设备国产化来讲，这至少供给了一个有利的时机。由于相对来说，涂布显影机有别于其他半导体设备。

　　现在国内兴修的芯片厂，特别是第三代半导体工厂多以6、8英寸制程为主。但在6英寸节点上， TEL根本已不进入，8英寸需求则选用12英寸的降级设备，方针目标具有针对性使得机台价格较贵重。另一方面，其二手机台的价格与去年相比乃至翻涨近2~3倍，并且一台难求。

　　李华芳进一步指出，现在可以做半导体前段制程的8英寸二手机台比较热销但也较为紧缺，所以关于芯米来说这是一个较好的时机。芯米8英寸机台现已完全可以代替当时商场上最干流的美日产品，在此基础上，价格也具有肯定优势。据悉，该公司现已在和台积电（旗下8寸厂）及其他一些较知名企业洽谈8英寸设备的DEMO事宜。

　　不过，他也着重说，芯米做的是有“魂灵”的机台，而非简略的代替。公司致力于经过对台积电、联电、日月光和美光等企业二三十年的服务经历，及较强的客制化才能，可以赋能客户订制设备，然后提高客户的制程工艺。

　　展望未来，芯米方案先在2021年完结12英寸机台部分模组的开发验证。李华芳表明，假如下一年6、8英寸机台的稳定性足够好，商场反应足够好，一起考虑到客户给予时机的或许，芯米或许会从如Barc和PI涂布工艺的部分，与客户进行12英寸的整机DEMO。

　　依据该公司的开展规划，在未来的2~3年内，芯米会继续拓宽国内涂胶显影机的商场，至少6、8英寸机台可以完结对国内所需的进口二手机台代替；在第二个阶段，芯米期望完结12英寸的Barc和PI工艺的代替，在这一方针的完结上，芯米不只具有可以出产出和美日厂商相同机台的技能才能，一起依据现在的评价，该公司可将出售价格至少控制在美日机台的50%左右；在第三个阶段，芯米的地图将不再限于6、8英寸的涂布显影机，而是整个半导体前段黄光制程的处理方案。

　　李华芳说，“尽管半导体制作设备国产化是一条绵长且困难的路途。但我信任在国家连续出台多项利好方针和引导，以及社会及工业界的各方支持下，芯米乐意成为在这条路上一直坚决而尽力追梦的人，芯米将尽自己的全力为“我国芯”奉献一份力气”。

　　半导体光刻制程配备与工艺处理出产商—芯米半导体重磅露脸Semicon China 2021